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TAYLOR-LUPHOS 非接触式表面轮廓测量仪
TAYLOR-LUPHOS 非接触式表面轮廓测量仪 TAYLOR-LUPHOS 非接触式表面轮廓测量仪 TAYLOR-LUPHOS 非接触式表面轮廓测量仪
TAYLOR-LUPHOS 非接触式表面轮廓测量仪简介

一:LuphoScan高速非接触式3D非球面光学面形测量系统
LuphoScan测量平台是一款基于多波长干涉技术(MWLI)的干涉式扫描测量系统。它专为旋转对称表面的超精密非接触式3D形状测量而设计,例如非球面光学透镜。
LuphoScan平台能够轻松进行非球面、球面、平面和自由曲面的测量。该仪器的主要特性包括高速测量、特殊表面的高灵活度测量 (例如;拐点的轮廓或平坦的尖点), 最大物体直径可达420 mm。因为采用多波长干涉技术(MWLI)传感器技术,因此能够扫描各种表面类型如透明材料、金属部件和研磨表面。
LuphoScan系统能够为高质量的光学表面3D形状测量提供正确效益
对任何旋转对称的表面的深入分析
超高、可重复精度
可测量任何材料 - 透明、镜面、不透明、抛光、研磨
大球面的偏离
高速测量
直径 - 20mm、260mm 或 420mm
使用LuphoSwap扩展功能完成对光学部件形状误差特性的测量
LuphoScan 260和LuphoScan 420测量平台可以应用LuphoSwap的扩展功能,来对透镜两个表面的所有特征进行连续的测量。一个特殊的测量概念能够将两个表面的测量结果相关联起来。这个概念就是在测量形状误差的同时,LuphoSwap能够确定透镜两侧表面的精确的厚度、楔形度和偏心度误差以及旋转定位。此外,还能够确定透镜底座位置。这个强大的软件工具功能来自于LuphoSmart传感器技术,一个优质的概念模式,以及额外的(跳动)基准传感器。
LuphoScan系统能够为高质量的光学表面3D形状测量提供正确效益:
1.对任何旋转对称的表面的深入分析:非球面、球面、平面和自由曲面
2.超高、可重复精度:≤±50nm
3.可测量任何材料:透明、镜面、不透明、抛光、研磨
4.大球面的偏离:不受限制。例如,能够测量盘式或者鸥翼表面,以及弯曲点的轮廓
5.大斜坡:可达90°(例:半球测量)
6.高灵活度:测量局部面、环形光学透镜、矩形表面、衍射面结构表面、锥透镜
7.完整透镜特征:透镜厚度、楔形误差、偏心误差、透镜安装位置
8.直径:120 mm、260 mm或者420 mm
9.高速测量:
例:1:58分(直径=30mm,Roc=60mm,100点/mm2),或者5:29分(直径=130mm,Roc=150mm,50点/mm2);
10.基于多波长干涉技术的光学计量应用:
10.1LuphoScan平台能够轻松进行非球面、球面、平面和自由曲面的测量。该仪器的主要特性包括高速测量、特殊表面的高灵活度测量 (例如;拐点的轮廓或平坦的尖点), 最大物体直径可达420 mm。因为采用多波长干涉技术(MWLI)传感器技术,因此能够扫描各种表面类型如透明材料、金属部件和研磨表面。
10.2测量原理:扫描过程是通过多波干涉技术(MWLI)传感器进行的,包含四个精密工作台。在测试条件下,MWLI点传感器连续测量传感器到被测物的距离。被测件放置在一个可360度旋转的工作台(C)上,与此同时,传感器的位置由两个直线工作台(允许水平(R)和垂直(Z))移动和一个旋转台 (T) 进行控制。在标准操作模式下,传感器垂直和等距于被测表面。在严格操控下,沿着样件对应的理想的轮廓移动完成面形扫描。在单个测量过程中,C台带动被测物进行旋转,其它的几个平台移动传器以便在整个测量平 面上进行螺旋式扫描(如图)。由此产生的点状图则显示了可能出现的任何形状偏差和物体表面的缺陷,从而完成了对表面形状的测试。
二:LuphoScan 260 HD任何旋转对称光学元件的非接触式三维形状测量
LuphoScan 260 HD测量台开创了光学表面高精密计量的新领域。新一代的测量系统能够测量物件角度大至90° 度,绝对测量精度高于±50 nm (3σ) 。测量结果有着极高的重复性且低噪音。
全新的 LuphoScan 260 HD是对高精度有着极高要求应用的理想选择,是生产过程控制的最基本要求。可测量坡度极高的表面、具有不同间距方向的表面、极小的表面例如手机镜头模具。
无与伦比的测量能力
HD = 高分辨率
快速的、值得信赖的非球面表面非接触式三维形状测量
高精度 - 物件坡度高至90° 度
是测量大的、陡峭的和极小的非球面镜头(如手机镜头模具)的理想选择
测量结果极高的重复性
Power和PV测定参数的正确稳定性
系统噪音极低
坚固耐用,不受环境变化的影响

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