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TAYLOR-PGI 超精密表面轮廓仪
TAYLOR-PGI 超精密表面轮廓仪 TAYLOR-PGI 超精密表面轮廓仪 TAYLOR-PGI 超精密表面轮廓仪
TAYLOR-PGI 超精密表面轮廓仪简介

TalysurfPGI系列设置简单,易于使用,专为分析高精密应用而设计。
为了满足现代众多应用需求,许多部件都需要具备高质量、高耐用性、高精度和可信赖性。
Taylor Hobson对半径、形状、轮廓和主波长等能够进行深入分析,为设计和生产提供重要的反馈。
专为您的应用需求而设计
- 满足下一代日益增长的科技需求
医疗:深入分析医疗植入物的特性,例如磨损,可为植入物的设计提供至关重要的反馈。
汽车行业:表面缺陷和划痕分析,把控生产过程。
喷油器:形状、直線度和表面粗糙度分析,把控生产过程。
航空航天:TalysurfPGI系列仪器可使用Q-Link (生产管理界面) ,适用于数据和严格标准的操作程序的控制。
研发:满足大学和研究机构中对富有挑战性的应用和广泛测量需求
以下参数对仪器性能的发挥有着至关重要的作用:
噪音:
所有测量仪器都需要有一个稳定的测量基准框架。噪音是测量由仪器所处环境和测量仪器对结果 产生的影响。
Taylor Hobson引用的是全系统噪音而其它生产商仅仅引用传感器噪音。
重复性:
重复性是在仪器重现表面或者轮廓形状时测量能力的真实表现。
Taylor Hobson出色的重复能力价值能够保证测量的完整性和测量结果的可信任度。其它生产商则无
法达到此标准参数。
直线度精度:
被测量表面与参照基准对比的一致性是形状和半径测量的必要条件。
Taylor Hobson通过使用一个高精度基准导轨。实现超高的直线度, 基准导轨是在工厂内部使用高
精密研磨工艺制造确保正确的直线度。
量程与分辨率的比率:
量程分辨率是测量量程及其分辨率的比率。
TalysurfPGI 2000S能够提供分辨率0.3nm量程20mm的选择,一次测量便可实现亚微米精度的
表面粗糙度、大形状和轮廓的测量。
传感器性能:
对任何测量系统来说,传感器直线度在评估形状和表面偏差时发挥着至关重要的作用。传感器精度 与测针针尖和传感器之间的反馈密切相关,是传感器在量程移动范围内显示值和真实值之间的最大 误差。
Talysurf PGI在大小量程范围内有着高级别的精度。
世界领先的表面粗糙度、半径和形状精度
拥有专利权的传感器校准程序以及以上所提到的功能的综合:噪音、重复性、量程分辨率 和直线度都会影响表面粗糙度、半径和形状精度。这些参数保证了仪器拥有多样性和高精度的测量能力。

TAYLOR-PGI2000/2000E/2000S技术参数:
一、系统性能:
形状校准误差(Pt):<0.20μm (8 μin) ;
系统噪音:Rq < 2 nm (0.08 μin), Rz < 10 nm (0.39 μin) ;
半径测量不确定度:0.1 - 10mm (0.004 - 0.39in) -标称值< 1μm;10 - 360mm (0.39 - 14.17in) - 标称值的0.01% 至0.006%
斜坡测量不确定度:0.5 角分;
Z轴倾斜重复性:平面表面- 0.08 μm (3.1 μin);曲面表面- 0.08 μm (3.1 μin);
二、水平性能:
驱动长度– X最大/最小:120 mm / 0.1 mm (4.7 in / 0.004 in) 或200 mm / 0.1 mm (7.9 in / 0.004 in) ;
驱动速度:最大 13 mm/s (0.51 in/s);
测量速度:0.25 mm/s, 0.5 mm/s, 1 mm/s & 2 mm/s (0.01 in/s, 0.02 in/s, 0.04 in/s & 0.08 in/s) ;
X轴最小采样间距:0.125 μm (5 μin) ;
直线度精度(Pt):120 mm 驱动箱- 0.08 μm (3.2 μin) / 200 mm 驱动箱- 0.110 μm (4.3 μin) ;
X轴倾斜精度:(1 + 0.02 L) μm ;
三、垂直性能:
标称测量量程(Z):20 mm (0.79 in) ;
分辨率(Z):PGI2000/5.3nm (0.21μin);PGI2000E/1.3nm (0.05μin);PGI2000S/0.3nm (0.01μin);
量程与分辨率的比率:PGI2000/3773585:1;PGI2000E/15384615:1;PGI2000S/66666666:1;
直线度精度:0.07+0.03Z[mm]μm;(3+30Z[in]μin);
测针臂长度:标准长度100mm;
针尖大小:2μm半径锥球形金刚石测针;
测针针尖压力:<1mN;

TAYLOR-PGI1500/1500E/1500S技术参数:
一、系统性能:
形状校准误差(Pt):<0.15μm (6μin) ;
系统噪音:Rq<2nm (0.08μin),Rz<10nm (0.39μin) ;
半径测量不确定度:0.1 - 10mm (0.004 -0.39in) -标称值< 1μm;10 - 360mm (0.39 - 14.17in) - 标称值的0.01% 至0.006%
斜坡测量不确定度:0.5 角分;
Z轴倾斜重复性:平面表面-0.08μm (3.1μin);曲面表面- 0.08μm (3.1μin);
二、水平性能:
驱动长度– X最大/最小:120mm / 0.1mm (4.7in/0.004in)或200mm/0.1mm(7.9in/0.004in) ;
驱动速度:最大13mm/s(0.51in/s);
测量速度:0.25mm/s,0.5mm/s,1mm/s和2mm/s(0.01in/s,0.02in/s,0.04in/s和0.08in/s) ;
X轴最小采样间距:0.125μm (5μin) ;
直线度精度(Pt):120mm驱动箱-0.08μm (3.2μin)/200mm驱动箱-0.110μm (4.3μin) ;
X轴倾斜精度:(1+0.02L)μm ;
三、垂直性能:
标称测量量程(Z):15mm (0.59in) ;
分辨率(Z):PGI1500/5.3nm (0.21μin);PGI1500E/1.3nm (0.05μin);PGI1500S/0.3nm (0.01μin);
量程与分辨率的比率:PGI1500/3773585:1;PGI1500E/11538461:1;PGI1500S/50000000:1;
直线度精度:0.07+0.03Z[mm]μm;(3+30Z[in]μin);
测针臂长度:标准长度100mm;
针尖大小:2μm半径锥球形金刚石测针;
帝皇彩票 测针针尖压力:<1mN;

TAYLOR-PGI1000/1000E/1000S技术参数:
一、系统性能:
形状校准误差(Pt):<0.15μm (6μin) ;
系统噪音:Rq<2nm (0.08μin),Rz<10nm (0.39μin) ;
半径测量不确定度:0.1-10mm (0.004-0.39in) -标称值<1μm;10- 360mm (0.39-14.17in) -标称值的0.01%至0.006%
斜坡测量不确定度:0.5 角分;
Z轴倾斜重复性:平面表面-0.08μm (3.1μin);曲面表面- 0.08μm (3.1μin);
二、水平性能:
驱动长度– X最大/最小:120mm/0.1mm (4.7in/0.004in)或200mm/0.1mm(7.9in/0.004in) ;
驱动速度:最大13mm/s(0.51in/s);
测量速度:0.25mm/s,0.5mm/s,1mm/s和2mm/s(0.01in/s,0.02in/s,0.04in/s和0.08in/s) ;
X轴最小采样间距:0.125μm (5μin) ;
直线度精度(Pt):120mm驱动箱-0.08μm (3.2μin)/200mm驱动箱-0.110μm (4.3μin) ;
X轴倾斜精度:(1+0.02L)μm ;
三、垂直性能:
标称测量量程(Z):10mm (0.39in) ;
分辨率(Z):PGI1000/5.3nm (0.21μin);PGI1000E/1.3nm (0.05μin);PGI1000S/0.3nm (0.01μin);
量程与分辨率的比率:PGI1000/3773585:1;PGI1000E/7692307:1;PGI1000S/33333333:1;
直线度精度:0.07+0.03Z[mm]μm;(3+30Z[in]μin);
测针臂长度:标准长度100mm;
针尖大小:2μm半径锥球形金刚石测针;
测针针尖压力:<1mN;
一、测量台:
驱动单元机动倾斜:可选、倾斜±9°;
仪器尺寸:
仪器重量:223Kg(450mm高度立柱);(可选700mm高度立柱237Kg) ;
电动垂直立柱:450mm(17.7in)(可选700mm(29.5in));
二、环境要求:
储存温度:5oC至40oC(41oF至104oF);
储存湿度:相对10%至80%,无结露;
工作温度:18oC到22oC(64oF到72oF) ;
温度梯度:<2oC/小时 (<3.6oF/小时);
工作湿度:相对45%至75%,无结露;
最大RMS地面震动:<50Hz时,3μm/s (120μin/s);<50Hz时,6μm/s(200μin/s) ;
激光级别:级别1产品EN60825-1(2001),连续光波(CW)输出<1mW激光最大功率,<50μW产品最大功率;
三、电源:
电源类型:交流、单相接地(3线制);
仪器和计算机电压:90V-230V;
频率:47Hz到63Hz;
电源电压瞬变值-宽度:EN61000-4-4:1995;
功耗:500VA;
安全:EN61010-1:2001;
EMC:EN61000-6-4:2001;EN61000-6-1:2001;
以上引用的参数数据是在可控制环境内的计量实验室得出的:20°C ±1°C (68°F ± 1.8°F),无通风,独立于低频率噪音震动端。
不确定度和最大允许误差(MPE's)是在95%置信区间下测得,参照ISO的《测量不确定度表示指南》(GUM: 1993)。所有误差如MPE表述。
注释:
1.在一个半径为80mm (3.15in) 玻璃标准器上的LS圆弧分析(速度=1mm/s, 原始滤波器Ls=0.25mm) ;
2.与驱动基准标称平行的玻璃平晶上进行5次可追溯测量的平均量,使用100mm长金刚石针尖测针(速度=0.5mm/s,高斯滤波器, Lc 0.08mm, Ls 0.0025mm);
3.假设标定球为理想半径 ;
4.测量值在传感器量程80%的上下35o角坡度内得到,使用金刚石针尖100mm的测针;
5.与驱动基准标称平行的玻璃平晶上重复测量,使用100mm长金刚石针尖测针(速度 = 1mm/s,原始滤波器Ls=0.025mm) ;
6.在一个半径为80mm (3.15in) 玻璃标准重复测量,使用100mm长的金刚石针尖(速度=1mm/s,,原始滤波器LS=0.025mm) ;
7.对于表面粗糙度测量, 建议使用0.5mm/s (0.02in/s)或更低的速度。
8.与驱动基准标称平行的玻璃平晶上测量,使用100mm长的金刚石针尖(速度=1mm/s,LS直线分析,原始滤波器Ls=2.5mm) ;
9.L的单位是mm;
10.使用100mm长的金刚石测针;

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